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旋片式真空泵厂家多少钱法国LEYBOLD莱宝真空泵

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更新时间:2019-05-15 产品编号:139307098
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公司信息

东莞磊博真空设备有限公司

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  • 东莞寮步泉塘社区曲岭二路19号A栋三楼

产品详情
品牌旋片式真空泵2x40型号旋片式真空泵2x40
适用范围旋片式真空泵厂家 产品别名罗茨真空泵价格
流量190363m3/h轴功率233kW
配带功率400kW最大抽气量011m3/min
吸入口径307mm

产品名称:旋片式真空泵厂家多少钱法国LEYBOLD莱宝真空泵

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公司拥有专业的维修技术人员及检测设备,为用户长期提供真空泵技术指导、检测、保养、维修服务。旋片式真空泵厂家旋片式真空泵厂家并借助国外原厂技术支持,为客户设计、制造、安装、调试最适用的真空系统。

东莞磊博真空设备有限公司位于珠江三角洲重点工业卫星镇**、素有“香市”之称的东莞市寮步镇。旋片式真空泵厂家旋片式真空泵厂家以进口欧洲、日本及台湾知名品牌的真空泵的销售,[随机外链]真空泵维修、保养,进口真空泵配件、耗材等相关产品为主要业务的公司。

主要服务产品有:日本(Orion)好利旺真空泵、日本(ULVAC)爱发科真空泵、[随机外链]法国(Leybold)莱宝真空泵、德国(Busch)普旭真空泵、德国(BECKER)贝克真空泵、德国(Rietschle)里其乐真空泵、英国(Edwards)爱德华真空泵、台湾(GENMAN)罗茨真空泵、无油真空泵等国外知名真空泵及真空泵配件或真空泵维修包:真空泵油雾过滤器,真空泵叶片、真空泵油、真空泵过滤器、真空泵排气过滤器、真空泵空气过滤器、真空泵滤芯、真空泵止回阀、真空泵散热风扇、真空泵密封件、真空泵轴承、真空泵逆止阀、真空泵回油浮球、真空泵联轴器等。

旋片式真空泵厂家以下有关真空泵出口的相关技术介绍

干式泵抽除颗粒物的措施与方法
; 在半导体产业为主要应用对象的干式泵会因许多工艺过程的抽气而出现一些颗粒物, 以前用PFPE油的油封式机械泵, 有油封作用, 因此成了颗粒物的捕集器, 混在油里的颗粒物过滤除掉, 造成维护工作量加大, 运行成本也提高了。
; 在半导体工业中使用的气体和反应生成物都要通过泵中, 这些物质与空气和湿气混合,能形成氧化物, 有些能自燃引起**,因此在半导体工艺中使用的真空泵要经过这些恶劣环境的考验。一般来说, 在真空泵现颗粒物有三种情况。
① 有时泵内压力增高,而引起气固过程的发生;
② 在泵内气体成分的反应生成物。
③ 抽气过程混入的颗粒物。
;; 防止颗粒物在泵中形成是的措施: 一般物质的升华是压力和温度的函数,各种物质都不相同,若简单调整泵的温度也可避免气固过程的发生。例如在Al刻蚀过程中,反应生成物AlCl3,由蒸汽压表明, 在温度> 80℃时AlCl3就挥发了, 如果能控制泵温,AlCl3的沉积就可以避免。由此可见不是泵温越低越好。单位时间形成颗粒物的数量用反应率来表示

式中 r ——反应率 T ——热力学温度
 ; K0——常数 Ci——成分i的浓度
 ; E ——激活能ni ——Ci的指数
 ; R ——气体常数
; 从公式得知, 减少浓度是降低生成颗粒物的有效的办法。而且充入惰性气体也是最容易实现的。改变公式中的E和T是有局限性的。这种反应在高压下容易发生, 因此在泵的压缩开始之前就通入惰性气体才行。
; 这种方法也可以防止CVD过程现**的危险, 引入惰性气体N2,使其浓度降低到低于着火极限,在这种条件下,反应率很低不会有**发生。直到现在, 还不能完全阻止颗粒物在泵腔内生成。为了保证颗粒物处于悬浮状态, 防止沉积, 气体的流动速度必须大于颗粒的临界速度(即的降落速度)。
;; 颗粒的临界速度和压力之间的关系, 如图17所示,颗粒尺寸对其临界速度的影响很大,要保证小的临界速度Vt,颗粒也要很小,才能很好的被抽走。

图17 颗粒物的临界速变与压力的关系
; 泵内的压缩过程气流的速度Vgas可由下式计算

式中 Qpv——为气流量
 ;; P——压力
 ;; A ——流道的断面积
; 若压力P增加会引起气流速度下降。随着压力增加, 气流速度达到或大于临界速度,使颗粒物处于悬浮状态。颗粒物的形成也多半在压力增高时发生。如向泵内及早充入气体, 以使颗粒尺寸还小, 有尽可能小的临界速度, 充入的气体量要大,使气流速度大于临界速度,保证了颗粒物实现气力输送,这样一来每级却都要充入气体, 充入的气体量与压力成正比,以保证有足够的气流速度。
; 充入气体量对泵的性能是有影响的, 要满足性能要求才行。
; 如泵在极限压力下运行, 即

式中 S th ——泵的几何抽速
;;  Pc——极限压力
 ;; qpv ——内部的返流量
; 若想得到一定的极限压力Pc, 就必须减少泵内部高压侧向低压侧的返流量, 为了抽除颗粒物, 充入气体增加了内部返流量, 因此要将充入的气体量, 达到对极限压力影响最小的程度为好。
  干式泵抽除颗粒物的措施与方法

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